高純氬氣是一種無色、無味、無毒的惰性氣體,主要用途包括:
1. 用于半導(dǎo)體工業(yè)中的氣相沉積、光刻、蝕刻等工藝,作為保護氣體和反應(yīng)氣體;
2. 用于金屬焊接和切割,作為保護氣體,防止氧化和熔化;
3. 用于填充惰性氣體燈,如氬氣燈、氖氣燈等;
4. 用于填充氣體分析儀,如氣相色譜儀、質(zhì)譜儀等;
5. 用于氣體放電管、高頻管等電子管的制造;
6. 用于填充高真空設(shè)備,如真空泵、真空爐等;
7. 用于氣體保護焊、氬弧焊等焊接工藝;
8. 用于氣體保護熔煉、粉末冶金等工藝;
9. 用于氣體保護涂裝、氣體保護熱處理等工藝;
10. 用于氣體保護切割、氣體保護鉆孔等工藝。