高純氣體在多個(gè)行業(yè)都有應(yīng)用,其中為廣泛的是以下三個(gè)領(lǐng)域:
1. **電子工業(yè)**。在高新科技產(chǎn)業(yè)中,如微電子、光子集成電路等產(chǎn)品不斷追求更小、更快和更高密度的發(fā)展趨勢(shì)下,對(duì)氣體的純凈度要求愈來(lái)愈高,尤其是有機(jī)類大宗氣體(如 N2 、 Ar )更是必備條件之一 。此外 , 高純氫也主要用在外延片生產(chǎn)上 . 不同行業(yè)的具體需求存在差異 , 一般而言,越接近表面處理(鍍膜)的工序所用的氣體種類越多,純度和流量越高;而制成后期的封裝環(huán)節(jié)通常只需少量的載或零流的氣體即可滿足需要 ( 如內(nèi)存條生產(chǎn)線). 在半導(dǎo)體制造工藝中的前道部分主要是以氮?dú)鉃橹鞯母邼舛忍胤N標(biāo)準(zhǔn)混合氣的使用;尾端則是用于保護(hù)環(huán)境的清潔空氣/粗氧的使用.。
隨著國(guó)內(nèi)潔凈室及配套設(shè)施工程的不斷發(fā)展以及國(guó)外設(shè)備的引進(jìn)安裝到位.國(guó)產(chǎn)化率將不斷提高,這為該市場(chǎng)帶來(lái)了巨大的商機(jī)和潛力?!?
同時(shí)真空設(shè)備也需要各種不同的高純稀有氣體作為工作動(dòng)力及工作環(huán)境氣氛氣氛控制介質(zhì)?! ?
另外還有激光技術(shù)所需的氦氖氣體也是其主要消費(fèi)來(lái)源及其它一些特殊用途比如科研實(shí)驗(yàn)分析檢測(cè)等等都是其重要組成部分的應(yīng)用場(chǎng)景!
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